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文献
J-GLOBAL ID:201402229193910814   整理番号:14A0083854

分光偏光解析法によって調べられた酸化チタン薄膜の光学的性質の温度依存性

Temperature-Dependent Optical Properties of Titanium Oxide Thin Films Studied by Spectroscopic Ellipsometry
著者 (12件):
ZHANG Fan
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
ZHANG Rong-Jun
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
ZHANG Dong-Xu
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
WANG Zi-Yi
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
XU Ji-Ping
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
ZHENG Yu-Xiang
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
CHEN Liang-Yao
(Fudan Univ., Shanghai, CHN)
HUANG Ren-Zhong
(Shenyang Normal Univ., Shenyang, CHN)
SUN Yan
(Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
CHEN Xin
(Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
MENG Xiang-Jian
(Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
DAI Ning
(Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)

資料名:
Applied Physics Express  (Applied Physics Express)

巻:号: 12  ページ: 121101.1-121101.4  発行年: 2013年12月25日 
JST資料番号: F0599C  ISSN: 1882-0778  CODEN: APEPC4  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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