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文献
J-GLOBAL ID：201402231180661453
整理番号：14A0393695
マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ[I]-超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作-
Compact Optical Multi-gas Sensors using Micromachining Technology [I]-Fabrication of High-precision Micro-optical Bench using Ultra-thick Film Resin-
伊藤将寛
(香川大)
,
武田知也
(香川大)
,
鈴木孝明
(香川大)
,
高尾英邦
(香川大)
,
大平文和
(香川大)
,
下川房男
(香川大)
,
筒井靖之
(アオイ電子)
,
林宏樹
(アオイ電子)
,
今野隆
(アオイ電子)
,
朝日一平
(四国総合研)
,
杉本幸代
(四国総合研)
,
二宮英樹
(四国総合研)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133 号： 6 ページ： 237-242 発行年： 2013年06月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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