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J-GLOBAL ID：201402231392672790 整理番号：14A1382575

熱化学気相成長法によるBCN合成の検討

A Study of BCN production process by thermal chemical vapor deposition

著者 (3件)：

山崎裕貴

(信州大大学院理工学系研究科)

林卓哉

(信州大工)

村松寛之

(信州大工)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 114 号： 276(CPM2014 100-121) ページ： 13-14 発行年： 2014年10月17日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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