文献
J-GLOBAL ID:201402231794923632
整理番号:14A0657030
窒化ハフニウム薄膜に関する非ラザフォード陽子弾性散乱のエネルギー依存性
Energy dependence of non-Rutherford proton elastic scattering spectrum for hafnium nitride thin film
著者 (3件):
GOTOH Yasuhito
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
OHUE Wataru
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TSUJI Hiroshi
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
315
ページ:
68-71
発行年:
2013年11月15日
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)