文献
J-GLOBAL ID:201402232258469330
整理番号:14A0211569
MEMSダイヤモンド半球共振器
A MEMS diamond hemispherical resonator
著者 (6件):
BERNSTEIN J J
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
,
BANCU M G
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
,
COOK E H
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
,
CHAPARALA M V
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
,
TEYNOR W A
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
,
WEINBERG M S
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
12
ページ:
125007,1-8
発行年:
2013年12月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)