文献
J-GLOBAL ID:201402233082290733
整理番号:14A0297134
汚染とヘイズ検査のための計算マスク欠陥レビュー
Computational Mask Defect Review for Contamination and Haze Inspections
著者 (11件):
MORGAN Paul
(MP Mask Technol. Center, LLC, ID)
,
ROST Daniel
(MP Mask Technol. Center, LLC, ID)
,
PRICE Daniel
(MP Mask Technol. Center, LLC, ID)
,
CORCORAN Noel
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
SATAKE Masaki
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
HU Peter
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
PENG Danping
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
YONENAGA Dean
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
TOLANI Vikram
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
WOLF Yulian
(Applied Materials, Inc., ISR)
,
SHAH Pinkesh
(Applied Materials, Inc., ISR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8880
ページ:
88800L.1-88800L.7
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)