文献
J-GLOBAL ID:201402234151935764
整理番号:14A0005243
不純物イオンによる物理スパッタリングに及ぼす傾斜磁場の速度論的影響
Kinetic Effects of Inclined Magnetic Field on Physical Sputtering by Impurity Ions
著者 (3件):
KAWAMURA G.
,
TOMITA Y.
,
KIRSCHNER A.
(Forschungszentrum Jiilich, DEU)
資料名:
Annual Report of National Institute for Fusion Science
(Annual Report of National Institute for Fusion Science)
巻:
2012-2013
ページ:
398
発行年:
2013年11月
JST資料番号:
J0552A
ISSN:
0917-1185
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)