文献
J-GLOBAL ID:201402235196762158
整理番号:14A0253655
低温プラズマ法で作製したTiOxアモルファス膜
Amorphous TiOx Films Prepared by Cold Plasma Technique
著者 (1件):
NARKSITIPAN S.
(Maejo Univ., Chiang Mai, THA)
資料名:
Ferroelectrics
(Ferroelectrics)
巻:
456
ページ:
993-999
発行年:
2013年12月
JST資料番号:
D0777A
ISSN:
0015-0193
CODEN:
FEROA8
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)