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文献
J-GLOBAL ID：201402235905167641
整理番号：14A1209952
ナイキスト配列法における干渉指数を用いた超精密ステージの機構と制御の統合設計の提案
Proposal of integrated design of mechanism and control for high-precision stage by interaction index on Direct Nyquist Array method
大西亘
(東大)
,
藤本博志
(東大)
,
坂田晃一
(ニコン)
,
鈴木一弘
(ニコン)
,
佐伯和明
(ニコン)
資料名：
電気学会メカトロニクス制御研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： MEC-14 号： 148-158 ページ： 1-6 発行年： 2014年09月01日
JST資料番号： F1209A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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