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文献
J-GLOBAL ID：201402237101907467
整理番号：14A0564976
弱アルカリ性スラリー中のコバルトCMPに及ぼすH2O2およびグリシンの相乗効果
Synergetic effect of H2O2 and glycine on cobalt CMP in weakly alkaline slurry
JIANG Liang
(State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
JIANG Liang
(Center for Advanced Materials Processing, Clarkson Univ., Potsdam, NY 13699, USA)
,
HE Yongyong
(State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
LI Yan
(Center for Advanced Materials Processing, Clarkson Univ., Potsdam, NY 13699, USA)
,
LI Yuzhuo
(Center for Advanced Materials Processing, Clarkson Univ., Potsdam, NY 13699, USA)
,
LUO Jianbin
(State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 122 ページ： 82-86 発行年： 2014年06月25日
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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