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文献
J-GLOBAL ID：201402237524205639
整理番号：14A0962188
MSE法を用いたDLC膜の表面強度特性の評価 -水素含有率と表面強度の関係-
The Evaluation of the Surface Strength of DLC Films by MSE Method -Relation Between Hydrogen Content and Surface Strength-
岩井善郎
(福井大学)
,
坂野薫
(福井大学)
,
朴鐘輝
(福井大学)
,
柴田賢一
(福井大学)
,
木幡護
(福井大学)
,
神田一隆
(福井工業大学)
,
宮島敏郎
(富山県立大学)
,
橋本賢樹
(福井県工業技術センター)
,
石神龍哉
((公財) 若狭湾エネルギー研究センター)
,
安田啓介
((公財) 若狭湾エネルギー研究センター)
資料名：
精密工学会誌(Web)
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 80 号： 8 ページ： 771-776 (J-STAGE) 発行年： 2014年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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