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文献
J-GLOBAL ID：201402239297757436
整理番号：14A0536410
サファイアウエハのラッピングにおける加工液の特性が加工に及ぼす影響
柴田脩太
(金沢工大 大学院)
,
諏訪部仁
(金沢工大)
,
石川憲一
(金沢工大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.I14 発行年： 2014年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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