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文献
J-GLOBAL ID:201402240688083551   整理番号:14A0426435

酸素導入Arスパッタリングにより堆積したAlドープCeO2薄膜の電気的性質

ELECTRICAL PROPERTIES OF Al DOPED CeO2 THIN FILMS DEPOSITED BY O2 INTRODUCED Ar SPUTTERING
著者 (8件):
NOTANI Y.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
OKAZAKI T.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
HARA K.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
OSAWA T.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
HIBINO K.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
SUZUKI S.
(Comet Inc., Ibaraki, JPN)
ISHIBASHI K.
(Comet Inc., Ibaraki, JPN)
YAMAMOTO Y.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)

資料名:
Report of Research Center of Ion Beam Technology, Hosei University. Supplement  (Report of Research Center of Ion Beam Technology, Hosei University. Supplement)

号: 32  ページ: 52-57  発行年: 2014年03月 
JST資料番号: L0263A  ISSN: 0914-2908  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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