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文献
J-GLOBAL ID：201402243270373579
整理番号：14A0371546
ミニマル抵抗加熱炉で形成した熱酸化膜の電気的特性
中戸克彦
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
浅野均
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
鈴木真之佑
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
鈴木真之佑
(光洋サーモシステム)
,
松田祥吾
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
松田祥吾
(光洋サーモシステム)
,
柳沼綾美
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
柳沼綾美
(光洋サーモシステム)
,
森川清彦
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
森川清彦
(光洋サーモシステム)
,
服部昌
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
服部昌
(光洋サーモシステム)
,
三ケ原孝則
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
池田伸一
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
池田伸一
(産業技術総合研)
,
KHUMPUANG Sommawan
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
KHUMPUANG Sommawan
(産業技術総合研)
,
原史朗
(ミニマルファブ技術研究組合)
,
原史朗
(産業技術総合研)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st ページ： ROMBUNNO.19P-E14-12 発行年： 2014年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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