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文献
J-GLOBAL ID：201402247916438610
整理番号：14A1234160
GaAs/AlAs多層の認められた参照物質からの厚みと密度を使ったX線反射法における試料アラインメントの決定
Determining sample alignment in x-ray reflectometry using thickness and density from GaAs/AlAs multilayer certified reference materials
WINDOVER D
(National Inst. of Standards and Technol., MD, USA)
,
GIL D L
(National Inst. of Standards and Technol., MD, USA)
,
AZUMA Y
(National Metrology Inst. of Japan, Tsukuba, JPN)
,
FUJIMOTO T
(National Metrology Inst. of Japan, Tsukuba, JPN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 25 号： 10 ページ： 105007,1-8 発行年： 2014年10月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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