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文献
J-GLOBAL ID：201402248903562033
整理番号：14A1224908
BEOL/MOLとFEOL不均一絶縁破壊のための時間依存クラスタリングモデル対組み合わせベース手法:類似と不同
Time-Dependent Clustering Model versus Combination-Based Approach for BEOL/MOL and FEOL Non-Uniform Dielectric Breakdown:Similarities and Disparities
WU Ernest Y.
(US.IBM.COM)
,
LI Baozhen
(IBM Semiconductor Res. and Dev. Center, VT, USA)
,
STATHIS James H.
(IBM Res. Div., New York, USA)
,
LAROW Charles
(IBM Semiconductor Res. and Dev. Center, VT, USA)
資料名：
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻： 2014 Vol.1 ページ： 437-443 発行年： 2014年
JST資料番号： A0631A ISSN： 1541-7026 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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