文献
J-GLOBAL ID:201402254353610000
整理番号:14A0489323
マルチ位置センサを用いた大規模ステージの振動抑制制御のための周波数分離自己共振の除去
Frequency Separation Self Resonance Cancellation for Vibration Suppression Control of a Large-Scale Stage Using Multiple Position Sensors
著者 (5件):
SAKATA Koichi
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
ASAUMI Hiroyoshi
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
HIRACHI Kazuyuki
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
SAIKI Kazuaki
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
FUJIMOTO Hiroshi
(Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
資料名:
Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
(Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻:
39th Vol.8
ページ:
6478-6483
発行年:
2013年
JST資料番号:
H0475B
ISSN:
1553-572X
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)