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文献
J-GLOBAL ID:201402256256625470   整理番号:14A1117859

相境界近傍におけるScAlN膜の電気機械結合とギガヘルツ弾性定数

Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary
著者 (2件):
YANAGITANI Takahiko
(Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Nagoya 466-8555, JPN)
SUZUKI Masashi
(Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Nagoya 466-8555, JPN)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 105  号: 12  ページ: 122907-122907-4  発行年: 2014年09月22日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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