文献
J-GLOBAL ID:201402256256625470
整理番号:14A1117859
相境界近傍におけるScAlN膜の電気機械結合とギガヘルツ弾性定数
Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary
著者 (2件):
YANAGITANI Takahiko
(Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Nagoya 466-8555, JPN)
,
SUZUKI Masashi
(Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Nagoya 466-8555, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
105
号:
12
ページ:
122907-122907-4
発行年:
2014年09月22日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)