文献
J-GLOBAL ID:201402259070531556
整理番号:14A0367795
ポスト化学機械平坦化洗浄の際のコバルトに対する不動態化剤としての1,2,4-トリアゾールの役割
Role of 1,2,4-Triazole as a Passivating Agent for Cobalt during Post-Chemical Mechanical Planarization Cleaning
著者 (6件):
ZHONG Mingjie
(Clarkson Univ., NY, USA)
,
VENKATARAMAN Shyam S.
(BASF SE, Ludwigshafen, DEU)
,
LAN Yongqing
(BASF SE, Ludwigshafen, DEU)
,
LI Yuzhuo
(Clarkson Univ., NY, USA)
,
LI Yuzhuo
(BASF SE, Ludwigshafen, DEU)
,
SHIPP Devon A.
(Clarkson Univ., NY, USA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
161
号:
3
ページ:
C138-C144
発行年:
2014年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)