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文献
J-GLOBAL ID:201402259081072405   整理番号:14A0312784

ウエハステージの次世代運動制御のためのシステム同定とロバスト制御の結合

Connecting System Identification and Robust Control for Next-Generation Motion Control of a Wafer Stage
著者 (6件):
OOMEN Tom
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
VAN HERPEN Robbert
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
QUIST Sander
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
VAN DE WAL Marc
(Philips Applied Technol., Eindhoven, NLD)
BOSGRA Okko
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
STEINBUCH Maarten
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)

資料名:
IEEE Transactions on Control Systems Technology  (IEEE Transactions on Control Systems Technology)

巻: 22  号:ページ: 102-118  発行年: 2014年01月 
JST資料番号: W0515A  ISSN: 1063-6536  CODEN: IETTE2  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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