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文献
J-GLOBAL ID：201402259081072405
整理番号：14A0312784
ウエハステージの次世代運動制御のためのシステム同定とロバスト制御の結合
Connecting System Identification and Robust Control for Next-Generation Motion Control of a Wafer Stage
OOMEN Tom
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
VAN HERPEN Robbert
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
QUIST Sander
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
VAN DE WAL Marc
(Philips Applied Technol., Eindhoven, NLD)
,
BOSGRA Okko
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
STEINBUCH Maarten
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名：
IEEE Transactions on Control Systems Technology
(IEEE Transactions on Control Systems Technology)
巻： 22 号： 1 ページ： 102-118 発行年： 2014年01月
JST資料番号： W0515A ISSN： 1063-6536 CODEN： IETTE2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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