文献
J-GLOBAL ID:201402261264347289
整理番号:14A1154403
ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして高周波スパッタリングにより成膜した有機薄膜の揮発性有機化合物の吸着特性
Adsorption Properties of an Organic Thin Film Prepared by an R.F. Sputtering with a Poly(Ethylene Terephthalate) (PET) Target for Volatile Organic Compounds (VOCs)
著者 (4件):
大西康貴
(東海大学総合理工学研究科)
,
野田和俊
((独)産業技術総合研究所 環境管理技術研究部門)
,
岩森暁
(東海大学総合理工学研究科)
,
岩森暁
((独)産業技術総合研究所 環境管理技術研究部門)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
134
号:
9
ページ:
278-283 (J-STAGE)
発行年:
2014年
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)