文献
J-GLOBAL ID:201402261816473535
整理番号:14A0605623
低温プロセスを使用したcMUTデバイス製作の進歩
Progresses in cMUT device fabrication using low temperature processes
著者 (5件):
BAHETTE E
(Univ. Francois Rabelais, Tours, FRA)
,
MICHAUD J F
(Univ. Francois Rabelais, Tours, FRA)
,
CERTON D
(Univ. Francois Rabelais, Tours, FRA)
,
GROSS D
(Univ. Francois Rabelais, Tours, FRA)
,
ALQUIER D
(Univ. Francois Rabelais, Tours, FRA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
24
号:
4
ページ:
045020,1-12
発行年:
2014年04月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)