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文献
J-GLOBAL ID：201402263373942068
整理番号：14A0799302
摂動ボンネット研磨機による極端紫外線フォトマスクブランクの補正仕上
Corrective finishing of extreme ultraviolet photomask blanks by precessed bonnet polisher
BEAUCAMP Anthony
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
NAMBA Yoshiharu
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
CHARLTON Phillip
(Zeeko Ltd, Leicestershire, GBR)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 53 号： 14 ページ： 3075-3080 発行年： 2014年05月10日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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