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文献
J-GLOBAL ID：201402265674685268
整理番号：14A0583303
法線ベクトル追跡法を用いたナノプロファイラによる高精度球面鏡に関する三次元表面図形測定
Three-dimensional surface figure measurement of high-accuracy spherical mirror with nanoprofiler using normal vector tracing method
KUDO R.
(Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
,
OKUDA K.
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...)
,
USUKI K.
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...)
,
NAKANO M.
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...)
,
YAMAMURA K.
(Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
,
ENDO K.
(Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 85 号： 4 ページ： 045101-045101-5 発行年： 2014年04月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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