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文献
J-GLOBAL ID：201402265708423632
整理番号：14A1277591
ロールツーロールナノインプリントリソグラフィーの再調査
A review of roll-to-roll nanoimprint lithography
KOOY Nazrin
(Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
,
MOHAMED Khairudin
(Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
,
PIN Lee Tze
(Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
,
GUAN Ooi Su
(Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
資料名：
Nanoscale Research Letters (Web)
(Nanoscale Research Letters (Web))
巻： 9 号： 1 ページ： 9:320 (WEB ONLY) 発行年： 2014年12月
JST資料番号： U7001A ISSN： 1931-7573 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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