文献
J-GLOBAL ID:201402266051412690
整理番号:14A0297196
実際的応用におけるEビームGIDC分解能増大技術
E-beam GIDC resolution enhancement technology in practical applications
著者 (6件):
MARTENS S.
(Inst. Mikroelektronik Stuttgart, DEU)
,
BUTSCHKE J.
(Inst. Mikroelektronik Stuttgart, DEU)
,
GALLER R.
(EQUIcon Software GmbH Jena, DEU)
,
KRUEGER M.
(EQUIcon Software GmbH Jena, DEU)
,
SAILER H.
(Inst. Mikroelektronik Stuttgart, DEU)
,
SUELZLE M.
(Inst. Mikroelektronik Stuttgart, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8880
ページ:
88802H.1-88802H.8
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)