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文献
J-GLOBAL ID：201402268732986558
整理番号：14A0904259
PFP凝縮性ガスを用いたナノインプリントリソグラフィーにおけるブレークスルー達成
Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas
MATSUI Shinji
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
HIROSHIMA Hiroshi
(National Inst. of Advanced Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
HIRAI Yoshihiko
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
NAKAGAWA Masaru
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MATSUI Shinji
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
HIROSHIMA Hiroshi
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
HIRAI Yoshihiko
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
NAKAGAWA Masaru
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 27 号： 1 ページ： 61-72 発行年： 2014年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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