文献
J-GLOBAL ID:201402269788647345
整理番号:14A0551344
n/p/nエピタクシー構造及びドーピング選択電気化学エッチングを用いた静電駆動4H-SiCマイクロカンチレバ共振器の製造
Fabrication of Electrostatically Actuated 4H-SiC Microcantilever Resonators by Using n/p/n Epitaxial Structures and Doping-selective Electrochemical Etching
著者 (6件):
SATO Kosuke
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
ADACHI Kohei
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
OKAMOTO Hajime
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMAGUCHI Hiroshi
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
KIMOTO Tsunenobu
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
SUDA Jun
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Materials Science Forum
(Materials Science Forum)
巻:
778/780
号:
Pt.2
ページ:
780-783
発行年:
2014年
JST資料番号:
D0716B
ISSN:
0255-5476
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)