文献
J-GLOBAL ID:201402273052755237
整理番号:14A0045413
水素化カーボンに基づいたピエゾ抵抗薄膜系の新しい用途
Novel applications of piezoresistive thin film systems based on hydrogenated carbon
著者 (3件):
BIEHL Saskia
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
,
RUMPOSCH Christian
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
,
RECKNAGEL Christian
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8763
号:
Pt.1
ページ:
87630D.1-87630D.7
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)