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文献
J-GLOBAL ID：201402273136956246
整理番号：14A0289882
電子ビームレジストマスク上にRFマグネトロンスパッタリング法で堆積させた二酸化チタン微細構造
Titanium dioxide fine structures by RF magnetron sputter method deposited on an electron-beam resist mask
HASHIBA Hideomi
(Nihon Univ., Tokyo, JPN)
,
MIYAZAKI Yuta
(Nihon Univ., Tokyo, JPN)
,
MATSUSHITA Sachiko
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8816 ページ： 88161F.1-88161F.6 発行年： 2013年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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