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文献
J-GLOBAL ID：201402278143073157
整理番号：14A0854181
マグネトロンスパッタリング堆積により得たBCN膜の機械的及び引かき特性に及ぼすアニーリングの効果
Effect of annealing on the mechanical and scratch properties of BCN films obtained by magnetron sputtering deposition
XU Shuyan
(Key Lab. of Forest Sustainable Management and Environmental Microorganism Engineering of Heilongjiang Province ...)
,
MA Xinxin
(School of Material Sci. and Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
,
WEN Huiying
(Key Lab. of Forest Sustainable Management and Environmental Microorganism Engineering of Heilongjiang Province ...)
,
TANG Guangze
(School of Material Sci. and Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
,
LI Chunwei
(Key Lab. of Forest Sustainable Management and Environmental Microorganism Engineering of Heilongjiang Province ...)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 313 ページ： 823-827 発行年： 2014年09月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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