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文献
J-GLOBAL ID：201402280042553411
整理番号：14A0036933
Tiを含むDLC膜に対する高温原子状酸素ビーム照射効果
Hyperthermal atomic oxygen beam irradiation effect on the Ti-containing DLC film
KANDA Kazuhiro
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN)
,
FUKUDA Kazuhiro
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN)
,
KIDENA Kengo
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN)
,
IMAI Ryo
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN)
,
NIIBE Masahito
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN)
,
FUJIMOTO Synya
(Fac. of Engineering, Kobe Univ., JPN)
,
YOKOTA Kumiko
(Fac. of Engineering, Kobe Univ., JPN)
,
TAGAWA Masahito
(Fac. of Engineering, Kobe Univ., JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 41 ページ： 49-52 発行年： 2014年01月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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