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文献
J-GLOBAL ID:201402284535988609   整理番号:14A0369395

反応性RFマグネトロンスパッタ装置を用いてアルミ薄膜上に堆積させた酸化亜鉛・酸化ニオブナノアイランドの電気化学的特性

著者 (4件):
桟敷剛
(香川高専)
紅野安彦
(岡山大)
難波徳郎
(岡山大)
岡野寛
(香川高専)

資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻: 61st  ページ: ROMBUNNO.17P-PG2-15  発行年: 2014年03月03日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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