文献
J-GLOBAL ID:201402287888011527
整理番号:14A1052247
プラズマ挙動の両極性PBII&D及び分析によるマイクロトレンチ上のDLCコーティング
DLC coating on a micro-trench by bipolar PBII&D and analysis of plasma behaviour
著者 (4件):
PARK Wonsoon
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TOKIOKA Hideyuki
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TANAKA Masaaki
(PEGASUS Software Inc., Tokyo, JPN)
,
CHOI Junho
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
47
号:
33
ページ:
335306,1-8
発行年:
2014年08月20日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)