文献
J-GLOBAL ID:201402289551133380
整理番号:14A0297162
非マンハッタンジオメトリのためのショット数削減:データ分割とマスクライター設計の同時最適化
Shot count reduction for non-Manhattan geometries: concurrent optimization of data fracture and mask writer design
著者 (8件):
CINQUE Russell
(JEOL USA, CA, USA)
,
KOMAGATA Tadashi
(JOEL Ltd., Tokyo, JPN)
,
KIUCHI Taiichi
(JOEL Ltd., Tokyo, JPN)
,
BROWNING Clyde
(Aselta Nanographics, Grenoble, FRA)
,
SCHIAVONE Patrick
(JOEL Ltd., Tokyo, JPN)
,
PETRONI Paolo
(Aselta Nanographics, Grenoble, FRA)
,
MARTIN Luc
(Aselta Nanographics, Grenoble, FRA)
,
QUAGLIO Thomas
(Aselta Nanographics, Grenoble, FRA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8880
ページ:
88801F.1-88801F.8
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)