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文献
J-GLOBAL ID：201402295672639591
整理番号：14A0794691
光MEMS:マイクロミラーから複雑なシステムまで
Optical MEMS: From Micromirrors to Complex Systems
SOLGAARD Olav
(Stanford Univ., CA, USA)
,
GODIL Asif A.
(AG Microsystems, CA, USA)
,
HOWE Roger T.
(Stanford Univ., CA, USA)
,
LEE Luke P.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
PETER Yves-Alain
(Ecole Polytechnique de Montreal, QC, CAN)
,
ZAPPE Hans
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 23 号： 3 ページ： 517-538 発行年： 2014年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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