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文献
J-GLOBAL ID：201402297349067492
整理番号：13A1951413
マイクロマシニングした半楕円圧電体ドームによるモノリシック超音波集積回路
Monolithic ultrasonic integrated circuits based on micromachined semi-ellipsoidal piezoelectric domes
HAJATI Arman
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
,
LATEV Dimitre
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
,
GARDNER Deane
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
,
OTTOSSON Mats
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
,
IMAI Darren
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
,
TORREY Marc
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
,
SCHOEPPLER Martin
(FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 103 号： 20 ページ： 202906-202906-4 発行年： 2013年11月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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