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文献
J-GLOBAL ID：201402299145944098
整理番号：14A0572490
真空紫外波長領域における発光分光装置の研究室内感度較正
In-laboratory sensitivity calibration of an optical emission spectroscopy system in vacuum ultraviolet wavelength range
SOMA Shuntaro
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
KURIHARA Kazuaki
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SASAKI Koichi
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 53 号： 4 ページ： 048001.1-048001.3 発行年： 2014年04月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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