文献
J-GLOBAL ID:201402299540046970
整理番号:14A0045526
パターンマッチング法を用いた二次電子像用のピクセル長キャリブレーション
Pixel length calibration using a pattern matching method for secondary-electron images
著者 (3件):
SUGAWARA Kentaro
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MISUMI Ichiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
GONDA Satoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8769
号:
Pt.1
ページ:
876909.1-876909.6
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)