文献
J-GLOBAL ID:201502200394833257
整理番号:15A1230464
環境セル透過型電子顕微鏡用の非晶質炭窒化ケイ素隔膜を作成する磁場・パルスプラズマ増強化学蒸着法の開発
Development of magnetic-field and pulsed-plasma-enhanced chemical vapor deposition method to fabricate amorphous silicon carbonitride diaphragm for environmental-cell transmission electron microscope
著者 (4件):
YAMASAKI Kayo
(Kinki Univ., 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-8502, JPN)
,
MATSUTANI Takaomi
(Kinki Univ., 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-8502, JPN)
,
IMAEDA Norihiro
(Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
KAWASAKI Tadahiro
(Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
122
号:
PB
ページ:
332-336
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)