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文献
J-GLOBAL ID：201502200450248320
整理番号：15A1230443
様々なターゲット組成と様々なパルス長で堆積したアルミニウムリッチHPPMS (Cr1-xAlx)N被覆
Aluminum-rich HPPMS (Cr1-xAlx)N coatings deposited with different target compositions and at various pulse lengths
BOBZIN K.
(Surface Engineering Inst., RWTH Aachen Univ., Kackertstr. 15, D-52072 Aachen, DEU)
,
BROEGELMANN T.
(Surface Engineering Inst., RWTH Aachen Univ., Kackertstr. 15, D-52072 Aachen, DEU)
,
BRUGNARA R.H.
(Surface Engineering Inst., RWTH Aachen Univ., Kackertstr. 15, D-52072 Aachen, DEU)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 122 号： PA ページ： 201-207 発行年： 2015年12月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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