文献
J-GLOBAL ID:201502200570398707
整理番号:15A0596592
DSIMSでの飽和効果の補正法の評価のためのVAMASラウンドロビン研究の最終報告
Final report on VAMAS round-robin study to evaluate a correction method for saturation effects in DSIMS
著者 (12件):
TAKANO Akio
(NTT Advanced Technol. Corp. (NTT-AT), Kanagawa, JPN)
,
NONAKA Hidehiko
,
HOMMA Yoshikazu
,
TOMITA Mitsuhiro
,
MURASE Atsushi
,
HAYASHI Syunichi
,
BAROZZI Mario
,
KIM Kyung Joon
,
SYKES David
,
SIMONS David
,
BENNETT Joe
,
MAGEE Charles W.
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
47
号:
6
ページ:
681-700
発行年:
2015年06月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)