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文献
J-GLOBAL ID：201502202279039990
整理番号：15A0828697
室温でのSi(113)表面上の初期酸化プロセス
Initial oxidation processes on Si(113) surfaces at room temperature
TANAKA Kazuma
(Yokohama Nat’l Univ)
,
OHNO Shin-ya
(Yokohama Nat’l Univ)
,
KODAMA Hiraku
(Yokohama Nat’l Univ)
,
YOSHIGOE Akitaka
(Japan Atomic Energy Agency)
,
TERAOKA Yuden
(Japan Atomic Energy Agency)
,
TANAKA Masatoshi
(Yokohama Nat’l Univ)
資料名：
Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM)
(Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM))
巻： 7th ページ： ROMBUNNO.4PN-52 発行年： 2014年
JST資料番号： L8395B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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