文献
J-GLOBAL ID:201502202727421760
整理番号:15A0860084
高感度及び小型マルチビーム角度センサを用いた高精度微小粗さ測定機の開発
Development of high-precision micro-roundness measuring machine using a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor
著者 (3件):
CHEN Meiyun
(Fac. of Engineering, Dep. of Precision Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
,
TAKAHASHI Satoru
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8904, JPN)
,
TAKAMASU Kiyoshi
(Fac. of Engineering, Dep. of Precision Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
42
ページ:
276-282
発行年:
2015年10月
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)