文献
J-GLOBAL ID:201502203021032431
整理番号:15A0784945
発振器応用のための縦結合MEMS共振器ペア
A Vertically Coupled MEMS Resonator Pair for Oscillator Applications
著者 (4件):
LI Ming-Huang
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHEN Chao-Yu
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHEN Wen-Chien
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LI Sheng-Shian
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
3
ページ:
528-530
発行年:
2015年06月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)