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文献
J-GLOBAL ID：201502203196204501
整理番号：15A0145798
ZnO/多孔質SiとTiO2/多孔質Siのナノ複合材料ナノピラー
ZnO/porous-Si and TiO2/porous-Si nanocomposite nanopillars
WANG Dong
(Chair Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and Nanotechnologies MacroNano ...)
,
YAN Yong
(Chair Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and Nanotechnologies MacroNano ...)
,
SCHAAF Peter
(Chair Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and Nanotechnologies MacroNano ...)
,
SHARP Thomas
(Oxford Instruments Plasma Technol. Ltd., Yatton, Bristol BS49 4AP, GBR)
,
SCHOENHERR Sven
(Inst. for Solid State Physics, Friedrich Schiller Univ. Jena, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, DEU)
,
RONNING Carsten
(Inst. for Solid State Physics, Friedrich Schiller Univ. Jena, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, DEU)
,
JI Ran
(SUSS MicroTec Lithography GmbH, Schleissheimer Str. 90, 85748 Garching, DEU)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 33 号： 1 ページ： 01A102-01A102-7 発行年： 2015年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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