文献
J-GLOBAL ID:201502203492122040
整理番号:15A1323848
リバースリフトオフプロセスとCu-Zr-Ti金属ガラス厚膜構造のためのアプリケーション
Reverse Lift-Off Process and Application for Cu-Zr-Ti Metallic Glass Thick Film Structures
著者 (4件):
WATANABE Shigetaka
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SAKURAI Junpei
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
MIZOSHIRI Mizue
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
HATA Seiichi
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名:
International Journal of Automation Technology
(International Journal of Automation Technology)
巻:
9
号:
6
ページ:
646-654
発行年:
2015年11月05日
JST資料番号:
L0997B
ISSN:
1881-7629
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)