文献
J-GLOBAL ID:201502204568213216
整理番号:15A0976111
酸素/チタニウムから成るテトライソプロポキシドの誘導結合プラズマによって堆積したTiO2薄膜の構造および光学特性に対するイオン衝撃の効果
Effect of ion bombardment on the structural and optical properties of TiO2 thin films deposited from oxygen/titanium tetraisopropoxide inductively coupled plasma
著者 (5件):
LI D.
(Coll. of Mechanical Engineering, Yangzhou Univ., Yangzhou 225127, CHN)
,
CARETTE M.
(Inst. des Materiaux Jean Rouxel (IMN), Univ. de Nantes, UMR CNRS 6502, 2 rue de la Houssiniere, BP 32229, 44322 ...)
,
GRANIER A.
(Inst. des Materiaux Jean Rouxel (IMN), Univ. de Nantes, UMR CNRS 6502, 2 rue de la Houssiniere, BP 32229, 44322 ...)
,
LANDESMAN J.P.
(Inst. des Materiaux Jean Rouxel (IMN), Univ. de Nantes, UMR CNRS 6502, 2 rue de la Houssiniere, BP 32229, 44322 ...)
,
GOULLET A.
(Inst. des Materiaux Jean Rouxel (IMN), Univ. de Nantes, UMR CNRS 6502, 2 rue de la Houssiniere, BP 32229, 44322 ...)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
589
ページ:
783-791
発行年:
2015年08月31日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)