文献
J-GLOBAL ID:201502204698319857
整理番号:15A0970717
Qが100万の圧電抵抗読み出し機械結合LameモードSOI共振器
Piezoresistive Readout Mechanically Coupled Lame Mode SOI Resonator With Q of a Million
著者 (3件):
ZHU Haoshen
(City Univ. Hong Kong, HKG)
,
XU Yuanjie
(City Univ. Hong Kong, HKG)
,
LEE Joshua E-Y
(City Univ. Hong Kong, HKG)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
4
ページ:
771-780
発行年:
2015年08月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)