文献
J-GLOBAL ID:201502204791659676
整理番号:15A0882862
MEMSの自己位置決めのための薄膜の不整合歪に対する電気めっき条件のパラメータ研究
Parametric study of electroplating conditions on mismatch strain of thin film for self-positioning of MEMS
著者 (1件):
KIM Sang-Hyun
(Hansung Univ., Seoul, KOR)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
7
ページ:
075011,1-9
発行年:
2015年07月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)